WebbWhat Is IEPE Sensor. ICP sensor is a device for measuring dynamic pressure, power, deformation, or acceleration. The sensor contains a sensitive cell made of piezoelectric … Webb1 介薄膜刻蚀：SiNx Al2O3等介质薄膜材料；. 2 金属刻蚀：Ti、Al、Ni、Au、AuGe、Cr、Pt等金属材料IBE刻蚀；. 3 深硅刻蚀：基于氟基气体的高深宽比硅刻蚀技术；. 4 其他 …

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半导体刻蚀工艺技术——icp - 豆丁网

Webb4 feb. 2024 · 半导体刻蚀工艺技术——ICP摘要：ICP技术是微纳加工中的常用技术之一，本文简单介绍了ICP刻蚀技术 (inductivelycoupledplasma)的基本原理和刻蚀设备的结构， … WebbIBE and M-ICP IBE as depicted in Fig. 7. The photoresist (PR) is used as the mask for SiO2 patterning with a thickness of 860 nm. The thickness of the main etching layer of … Webb主要从事半导体设备、微细加工设备的产品研制、设计开发、生产销售，并开展相关工艺的研究及应用。. 主要产品有：匀胶机（SC）、烘胶台 (BP)、曝光机、刻蚀机 (RIE、ICP … red mattress